Een electron probe microanalyser is vergelijkbaar met een scanningelektronenmicroscoop voor wat betreft de elektronenmicroscopie, maar beschikt voor de identificatie van de karakteristieke röntgenstralen en dus voor de bepaling van de elementaire samenstelling van een materiaal over meer mogelijkheden. Naast een energie-dispersieve analysator (EDXA) zijn er ook golflengtedispersieve analysatoren (WDXA) aanwezig. Deze bieden een betere spectrale resolutie en kunnen bovendien worden uitgerust met speciale kristallen voor de detectie van zachte röntgenstralen.
EPMA is uitermate geschikt voor de bepaling van de elementaire samenstelling van materialen die zogenaamde ultralichte elementen (B,C,N,O) bevatten.
Toepassingen
- bepaling van de elementaire samenstelling van een materiaal gebruikmakend van referentiematerialen (elementen boor tot uranium)
- bepaling van de elementaire samenstelling van dunne deklagen op substraat gebruikmakend van referentiematerialen
- studie van de variatie in samenstelling over een oppervlak of langs een lijn, bv. voor de studie van diffusieverschijnselen
Apparatuur: JEOL JXA-8621MX
