Met röntgenfoto-elektronspectrometrie (XPS of ESCA) wordt het uiterste oppervlak van een materiaal geanalyseerd tot enkele nanometer diep. Men bekomt de chemische informatie van het materiaal, d.w.z. informatie over de aard en de bindingstoestand van de in het oppervlak aanwezige elementen. De elementen lithium tot uranium kunnen worden gedetecteerd.
Door geleidelijk materiaal te verwijderen d.m.v. een ionenbombardement, kunnen ook dieper gelegen lagen worden bestudeerd. Desgewenst kan zo een diepteprofiel van het materiaal worden samengesteld.
Toepassingen
- studie van oppervlaktefenomenen (oxidatie, corrosie, hechting, slijtage)
- identificatie van oppervlaktecontaminanten
- samenstelling van oppervlaktelagen
- karakterisatie van deklagen op substraat; met name samenstelling i.f.v. de diepte en deklaag/substraat interface
