Scanningelektronenmicroscopie of rasterelektronenmicroscopie geeft een veel betere laterale resolutie en een grotere scherptediepte dan optische microscopie.
De scanningelektronenmicroscoop van Vito heeft een uitzonderlijk goede laterale resolutie, omdat hij beschikt over een veldemissieelektronenbron en een zogenaamde semi-inlensconfiguratie. Het toestel is ook uitermate geschikt voor zogenaamde laagspanningsrasterelektronenmicroscopie (low voltage SEM). Hierbij kan men details aan het uiterste oppervlak van het materiaal veel beter waarnemen en bovendien wordt het aanbrengen van metallische lagen op niet-geleidende monsters overbodig.
Door uitbreiding met een systeem voor energie-dispersieve spectrometrie van de karakteristieke röntgenstralen (EDS of EDXA), wordt de beeldvorming gekoppeld aan elementanalyses op submicronschaal in een punt, langs een lijn of over een oppervlak.
Toepassingen
- karakterisering van alle geleidende en niet-geleidende materiaaloppervlakken op nanometerschaal (metaal, keramiek, polymeer, ...)
- morfologie en samenstelling van partikels (poeders, aerosolen, contaminanten, ...)
- studie van elementverdelingen over een oppervlak op submicronschaal
Apparatuur: JEOL JSM-6340F
